Рассмотрены структура технологических процессов получения интегральных микросхем, задачи и функции микропроцессорных систем управления оборудованием.

Проведен анализ технических средств и основных подсистем оборудования. Приведены алгоритмы управления параметрами процессов и состоянием оборудования, дана их программная реализация с использованием проблемно-ориентированных языков и языков пользователя.

Для студентов вузов приборостроительных специальностей.

Содержание Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники Предисловие Введение

Глава 1. УПРАВЛЕНИЕ в ПРОИЗВОДСТВЕ ИЗДЕЛИЙ МИКРОЭЛЕКТРОНИКИ

1.1. Структура технологических процессов производства интегральных микросхем

1.2. Развитие технологического оборудования автоматизированного производства

1.3. Оборудование для обработки поверхности

1.4. Литографическое оборудование

1.5. Физико-термическое оборудование

1.6. Оборудование для нанесения слоев

1.7. Структура технологического оборудования

Глава 2. СРЕДСТВА АВТОМАТИЗАЦИИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ОБОРУДОВАНИЯ

2.1. Управляющие устройства на базе микроЭВМ и микропроцессорных комплектов БИС

2.2. Интерфейсы микропроцессорных систем

2.3. Устройства связи с объектом

2.4. Контроллеры

2.5. Измерительные преобразователи

2.6. Усилители и преобразователи сигналов

Глава 3. СТРУКТУРА И СОСТАВ МИКРОПРОЦЕССОРНЫХ СИСТЕМ УПРАВЛЕНИЯ

3.1. Структура микропроцессорных систем управления оборудованием

3.2. Многоуровневые системы децентрализованного управления

3.3. Подсистемы управления температурными режимами

3.4. Подсистемы управления плазмохимической обработкой

3.5. Подсистемы управления газовыми потоками

3.6. Подсистемы управления транспортными механизмами

Глава 4. АЛГОРИТМЫ УПРАВЛЕНИЯ КАЧЕСТВОМ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ ПРОЦЕССОВ 4.1. Задачи управления технологическим оборудованием

4.2. Алгоритмы управления параметрами технологических процессов

4.3. Алгоритмы управления последовательностью технологического цикла

4.4. Специальные алгоритмы обработки технологической информации

4.5. Алгоритмы диагностики работоспособности технологического оборудования 4.6. Методы аттестации средств автоматизации

Глава 5. ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ МИКРОПРОЦЕССОРНЫХ СИСТЕМ

5.1. Общие принципы построения программного обеспечения микропроцессорных систем

5.2. Язык ассемблера микроЭВМ

5.3. Алгоритмический язык Паскаль

5.4. Языки программирования пользователя

Глава 6. ПРОГРАММИРОВАНИЕ ЗАДАЧ УПРАВЛЕНИЯ ОБОРУДОВАНИЕМ

6.1. Программирование задач управления параметрами

6.2. Программирование задач управления последовательностью технологического цикла

6.3. Программирование задач обработки информации

6.4. Программирование задач управления на языках пользователя

Глава 7. ПРИМЕРЫ ИСПОЛЬЗОВАНИЯ МИКРОПРОЦЕССОРОВ В ТЕХНОЛОГИЧЕСКОМ ОБОРУДОВАНИИ

7.1. Оборудование для диффузионных процессов

7.2. Вакуумно-напылительное оборудование

При написании книги использованы лекции, читаемые авторами в Московском институте электронной техники, а также данные отечественной и зарубежной печати. Нашел отражение многолетний опыт авторов по созданию микропроцессорных систем управления технологическим оборудованием микроэлектроники.

Скачать файл с внешнего сервера MEGA-DRIVE:  Микропроцессорное управление технологическим оборудованием микроэлектроники: Учебное пособие